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凈化工程溫濕度控制范圍-鴻潔源021-69116303詳情

發(fā)布時間:2023-03-31人氣:207

具體凈化工藝對溫度的要求,由于加工精度越來越精細,對溫度波動范圍的要求越來越小;要求的濕度值一般較低,因為出汗后會污染產(chǎn)品,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間,不宜超過25度。

濕度過大會導(dǎo)致更多的問題。當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會發(fā)生凝結(jié)。如果發(fā)生在精密器件或電路中,會造成各種事故。相對濕度50%時容易生銹。此外,當濕度過高時,附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學(xué)吸附在表面,很難去除。相對濕度越高,越難去除粘附物。然而,當相對濕度低于30%時,由于靜電力,顆粒容易吸附在表面上,并且大量的半導(dǎo)體器件容易被擊穿。硅晶片生產(chǎn)的最佳溫度范圍是35-45%。

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