潔凈室技術(shù)是為滿足實驗研究和產(chǎn)品加工的精密、小型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性的要求而誕生的新技術(shù)。潔凈室的概念起源于19世紀60年代的歐洲醫(yī)學(xué)，當(dāng)時僅限于處置室、手術(shù)室等滅菌處理的工作環(huán)境，可以控制噴灑消毒后傷口的感染率。

二戰(zhàn)期間，美國制造的用于飛機導(dǎo)航的氣浮陀螺儀。

50年代初朝鮮半島戰(zhàn)爭期間，電子元器件質(zhì)量不穩(wěn)定，美國關(guān)閉了生產(chǎn)車間，收效甚微。

1951年，高效空氣過濾器研制成功并應(yīng)用于生產(chǎn)車間的送風(fēng)過濾，潔凈室真正誕生了。

1961年，Whitefield提出層流(現(xiàn)單向流)方案，并應(yīng)用于實際工程，潔凈室達到了前所未有的更高潔凈度水平。同年，美國發(fā)布了第一個潔凈室標準，并于1963年將潔凈室分為三級。

60年代中期，潔凈室在軍工、電子、光學(xué)、微型軸承等工業(yè)部門的應(yīng)用得到推廣。

70年代初，潔凈室建設(shè)的重點轉(zhuǎn)移到醫(yī)療、制藥、食品等行業(yè)。